智能氮气柜可以给存放的样品提供一个干燥及无氧的环境,适合存放各类在空气中易氧化易受潮的物料,如半导体行业的Wafer晶圆片。整柜全部使用SUS304材质制作,双镜面工艺,美观大方,洁净等级高。智能氮气柜可选择控制相对湿度或者氧含量,双窗口高亮显示,数据直观准确。使用可调节流量计,控制氮气流量大小,主控系统采用多点供气,避免气流过大对物料产生冲击产生不良的影响。

三清仪器智能氮气柜箱体结构采用1.2mm优质冷轧钢板(SUS304镜面不锈钢材质),经脱脂、酸洗、磷化、静电喷涂而成。加强设计,结构牢固,箱体承载性能和气密性优越。门窗采用高强度钢化玻璃镶嵌,平面压力手柄设计。柜体底部装有导静电万向脚轮,移动定位方便。配备高端氮气进气流量计。氮气柜表面采用静电喷塑,耐腐蚀、耐划伤。普通型氮气柜采用灰橙色花纹烤漆。防静电型氮气柜采用长期蓝黑色防静电烤漆,静电阻值为106~109欧姆,符合防静电标准,更好地保护了储存部件的安全

产品容积 内径尺寸(MM) 外形尺寸(MM) 隔板数量 开门方式
98升 W446*D372*H598 W448*D400*H688 1 单开门
160升 W446*D422*H848 W448*D450*H1010 3 单开门
240升 W596*D372*H1148 W598*D400*H1310 3 上下双开门
320升 W898*D422*H848 W900*D450*H1010 3 左右双开门
435升 W898*D572*H848 W900*D600*H1010 3 左右双开门
540升 W596*D682*H1298 W598*D710*H1465 3 上下双开门
718升 W596*D682*H1723 W598*D710*H1910 5 上中下三开门
870升 W898*D572*H1698 W900*D600*H1890 5 四开门
1436升 W1198*D682*H1723 W1200*D710*H1910 5 四开门 / 六开门
湿度范围 1% - 60% RH 可调节 显示精度 温度:±1℃ 湿度:±3%RH
进气压力 0.2 - 0.4 MPa 节氮模组 多点供气系统,SMC节氮模组

氮气柜