无尘洁净烘箱相比普通的鼓风干燥箱,工艺相对较为复杂。不仅需要加热器搭配鼓风机提供热源来升高箱内的温度,确保温度均匀性的同时,还需要保证箱内的洁净度。半导体封装行业使用的无尘洁净干燥箱均采用耐高温的高效过滤器(HEPA)来净化干燥箱内部的环境。首先通过电加热不锈钢覆套式加热管,使用鼓风机将热风吹至风道,再经过过滤器,最后进入工作室来提升温度和净化颗粒物。需要注意的是,洁净烘箱进入无尘室或者放置在普通环境下,开机之前需要进行洁净擦拭工作,使用苏打水和无纺布擦拭内胆,门框及隔板等部分,开机后等循环风经过几次循环之后,可以打开测试孔使用颗粒物计数器测试洁净等级。

无尘洁净干燥箱内胆经过全密封设计,满焊满烧打磨处理,确保自身经过苏打水擦拭后不产尘之外,还得确保外部环境的颗粒物无法进入内胆,外部壳体与不锈钢工作室直接的连接也需要做好密封处理,防止细小的颗粒物侵入工作室中。温度传感器使用K型耐高温传感器,使用寿命长。温控仪表使用可控硅和固态继电器控制,温度精准不过冲。产品使用前先检查氮气接口,使用前应将氮气接通本机的氮气接口,特别注意在接通前必须先将 N2 压力调节至 3.5kg/cm2(或 50PSI)及氮气流量计全开。然后将烘烤物置入箱内后须将箱门关闭,门扣扣紧后,箱门安全开关有作用,机台才能顺利启动。烘箱后方之冷却排风口,请接至排气系统(φ5"接管)冷却时有高温,接管须加保温隔热以防员烫伤或影响工作环境。确认电源连接是否正确,接地线检查。先启动电源总开关,再启动温控开关,最后设定温度及时间。

型号
SKCOL-2
SKCOL-3
SKCOL-4
SKCOL-5
洁净度
Class 100 百级无尘洁净烘箱
电源
380V 50HZ
功率
7.5 KW
10.5 KW
11 KW
17 KW
工作环境温度
5℃ - 35℃

温度范围
+60℃ - +300℃
温度波动度
±0.5℃
温度均匀性
200℃ ±3℃ / 300℃ ±4℃
升温时间
40分钟以内 (室温-300℃)

外壳
防锈处理冷轧钢板 内外表面静电喷塑处理
内胆
SUS304 优质不锈钢
隔热材料
玻璃棉
加热器
覆套式电热器
进气口
6 MM
出气口
5 MM 自动开启排风阀门

温度控

制系统

调节方式
PID 控制方式
运转方式
定值运转 程序运转
设定范围
0 ℃ - 300 ℃
设定方式
数字式
显示方式
LED数字显示 触摸屏显示
传感元件
K型热电偶
安全保护
输入断线检测功能 上限温度过热报警 蜂鸣器报警 自行诊断
定时功能
0.1 - 999.9 H
安全装置
电机温度保护开关 温度保险丝 独立防止温度过升装置
隔板承载
30 KG
内容积
180 L
270 L
480 L
980 L
重量
260 KG
320 KG
450 KG
730 KG
内部尺寸 mm
W600 H600 D500
W600 H900 D500
W800 H1000 D600
W1400 H1000 D700
外部尺寸 mm
W950 H1510 D855
W950 H1810 D855
W1290 H1790 D955
W1950 H1790 D1055
配件
隔板
2 PCS
说明书
1 册
选购件
程序温控仪 触摸屏 三色报警灯 计时器等