<氮气柜>半导体晶圆氮气柜温湿度标准及其作用

氮气柜是外接氮气气源，通过流量计进入氮气控制系统中，然后经过多个细小的出气孔分散的进入氮气柜箱体内部，可以确保氮气的分布均匀无死角。氮气柜本身对氮气的纯度无要求，当然纯度越高的氮气对电磁阀的寿命是有着延长的作用，如杂质过多的话，可能会导致电磁阀提前损坏，而氮气无法正常进入氮气柜内部或无法控制氮气的自动供应与自动切断。如存储的是半导体晶圆片Wafer，则推荐选择99.99%纯度以上的高纯度氮气来保护晶圆，防止其氧化。至于氮气柜的温湿度标准，是需要根据存储物料的存储要求来确定，存储不同的样品氮气柜设定的湿度值各不一样，湿度设定值越低，消耗的氮气越高。氮气柜的温度值不受控制，仅仅显示当前的环境温度值。为了防止用户开启氮气柜柜门的时候过高浓度的氮气对人员带来的不良影响，可使用开启箱门时自动切断氮气供应的功能。

氮气柜的作用主要是利用柜体内部的氮气，营造出一种惰性气体的氛围，防止亲氧，亲水性的物品在空气中发生氧化现象，需要消耗氮气作为耗材。使用过程中氮气的进气压力不宜设置过大，因为氮气柜是一种密封性较好的柜体，但其密封性无法与压力容器相比，当柜内的正压过高时，可能会造成氮气柜泄漏，造成浪费及提高了使用成本。可以在氮气管道的出气端口或氮气气瓶的出气口加装减压阀，在气源的出气压力也是氮气柜的进气压力调节为0.2MPA为宜。当用户发现氮气保护柜的氮气消耗不正常时，可首先检测柜体密封性，使用泡沫水或细微线束在门框处进行测试，正常按照三清仪器1436升的氮气柜，环境湿度为60%RH，一天开门3-5次，每次10-20秒，一瓶40升的氮气，约使用时间为4-5天。相比直充氮气的氮气保护柜来说，约节约80%的氮气消耗。当然氮气柜还可以结合防潮箱辅助除湿，更进一步的来节约氮气的消耗。使用SUS304不锈钢材质的不锈钢氮气柜，洁净等级更高，适合在无尘室内部使用，存放各类精密的元器件及Wafer晶圆片。