控氧氮气柜利用外接氮气气源充入氮气柜内部,可以有效的控制柜体内部的氧气含量且可以精准的显示,特别适合半导体微电子行业存放晶圆,芯片等。三清仪器氮气柜控制系统内置进口配件,性能稳定可靠,不受外界干扰。采用自动程控感应系统,当箱内的湿度达到设定值时,系统会自动切断氮气供应;当箱内的湿度超过设定值时,系统会自动打开氮气供应来降低箱体内的湿度和氧含量。多点均匀式供气系统,防止气体过冲给存放的物料带来破坏性的影响及确保箱体内的氮气均匀性,箱内无氮气死角,防止物料受潮氧化,更好的保护存放的物料。

SUS304双镜面不锈钢材质加强设计,结构牢固,承重性能和箱体气密性优越。门窗镶嵌高强度钢化玻璃,平面加压把手设计。安装导静电万向脚轮,方便移动和定位。配备高端氮气进气流量计。高强度载重移动式层板,可根据存放的物料随意调节每层层板之间的高度,存放物料更方便,空间利用率更高。氮气柜温湿度管理记录功能,实时监控氮气柜内温湿度变化,使用相关软件后,可支持在电脑界面实时显示温湿度曲线图及保存打印历史记录数据。

产品容积 内径尺寸(MM) 外形尺寸(MM) 隔板数量 开门方式
98升 W446*D372*H598 W448*D400*H688 1 单开门
160升 W446*D422*H848 W448*D450*H1010 3 单开门
240升 W596*D372*H1148 W598*D400*H1310 3 上下双开门
320升 W898*D422*H848 W900*D450*H1010 3 左右双开门
435升 W898*D572*H848 W900*D600*H1010 3 左右双开门
540升 W596*D682*H1298 W598*D710*H1465 3 上下双开门
718升 W596*D682*H1723 W598*D710*H1910 5 上中下三开门
870升 W898*D572*H1698 W900*D600*H1890 5 四开门
1436升 W1198*D682*H1723 W1200*D710*H1910 5 四开门 / 六开门
湿度范围 1% - 60% RH 可调节 显示精度 温度:±1℃ 湿度:±3%RH
进气压力 0.2 - 0.4 MPa 节氮模组 多点供气系统,SMC节氮模组

氮气柜