氮气柜用来存放各类易氧化的器件,广泛应用于光电行业,太阳能,半导体微电子等行业。需要外接氮气气源,经过流量计进入氮气柜内部,有效的降低柜内的氧含量及湿度值,确保器件的安全保管。三清仪器氮气柜采用多点分布供气系统,降低了高压氮气进入柜内时的冲击力的同时还可以缓解液氮汽化时产生的结露现象,且氮气流量大小可调。

当氮气柜应用在洁净环境时,可选用双镜面SUS304不锈钢材质制作,洁净等级更好,可在百级千级无尘室中使用。内置性能稳定可靠,使用寿命长的电磁阀,配合微电脑控制系统,根据用户自己设定湿度值或者氧含量值,可自行打开和关闭氮气的供应,有效可靠的节约氮气的消耗。部分产品对存储的环境要求很高时,还可以在氮气柜上加装FFU高效过滤系统,使得氮气柜内部环境达一个稳定的无尘环境,更适合精密器件的存放。

产品容积 内径尺寸(MM) 外形尺寸(MM) 隔板数量 开门方式
98升 W446*D372*H598 W448*D400*H688 1 单开门
160升 W446*D422*H848 W448*D450*H1010 3 单开门
240升 W596*D372*H1148 W598*D400*H1310 3 上下双开门
320升 W898*D422*H848 W900*D450*H1010 3 左右双开门
435升 W898*D572*H848 W900*D600*H1010 3 左右双开门
540升 W596*D682*H1298 W598*D710*H1465 3 上下双开门
718升 W596*D682*H1723 W598*D710*H1910 5 上中下三开门
870升 W898*D572*H1698 W900*D600*H1890 5 四开门
1436升 W1198*D682*H1723 W1200*D710*H1910 5 四开门 / 六开门
湿度范围 1% - 60% RH 可调节 显示精度 温度:±1℃ 湿度:±3%RH
进气压力 0.2 - 0.4 MPa 节氮模组 多点供气系统,SMC节氮模组

氮气柜