<百级无尘烤箱>晶圆氮气热风精密百级无尘洁净烤箱

百级无尘洁净烤箱通过风机把不锈钢加热管的热量经过耐高温高效过滤器均匀的吹到烤箱内部，实现有效降低箱体环境的颗粒物数量的同时均匀的提升箱体内部的温度，三清仪器洁净烤箱拥有良好的温度均匀性及无尘环境，达到Class100的无尘洁净环境，为晶圆封装或胶水固化等工艺提供良好的环境。风道位于箱体顶部与背部，高效过滤器H.E.P.A位于箱体风道内部。热风经过H.E.P.A进入干燥箱内部，再循环至顶部进入风道，往复循环。耐高温高效过滤器，过滤等级H13 (99.97% - 99.99% @0.3um），采用进口耐高温超细纤维芯材，连续耐温350℃，铝箔隔层，陶瓷胶密封。

百级无尘洁净烤箱搭载PID智能温控仪，有效防止温度过程的现象。配合设计合理的热风循环风道，均匀的提升箱体内部的温度，有着均匀性良好的特性。设备包含钣金箱体、加热系统、热风循环系统，温度控制系统、过滤系统、安全保护系统、充氮系统（选配）。具有操作简便、控制系统自动化程度高、系统运行稳定、无故障运行时间长等优点，适用于各类产品的高温无尘洁净环境下的测试及试验。三清仪器百级无尘烤箱的加热系统采用U型不锈钢加热管，PID调节器，其执行元件为固态继电器(S.S.R)。数字型智能程序温度控制器，控温精度0.5级，温度分辨率±0.1℃，PID智能演算，自动恒温，超温抑制，传感器断线警报，断电记忆，控温精准。