<氮气柜>Wafer氮气柜的氮气压力调节及操作说明

氮气柜通过外置氮气气源充入氮气柜内部，置换出原有的空气，可以迅速的降低氮气柜内部的相对湿度值及氧含量。可以为Wafer晶圆提供一个良好的存储环境，确保物料存储的安全。氮气柜的氮气气源一般有两种实际的应用场景，一种是连接外置的氮气气瓶，另外一种是连接至工厂提前布置好的氮气管道上。不管是哪种方式，我们都需要确保氮气的纯度和氮气的压力，前者纯度过低的话，可能达不到预期的要求，后者压力过大的话，会造成氮气的极大浪费。

对于氮气的纯度，我们推荐的是至少99.99%纯度以上，如果要求不高或者是其他行业，也可以使用99.9%纯度的氮气。至于氮气柜的氮气进气压力，三清仪器智能节氮型氮气柜推荐进气压力调节为0.2MPA左右较为合适。因为氮气柜只是一个密封性较好的柜体，相对于压力容器来说，他的承压性能较差。当氮气充入箱体内时，箱体内部会存在一个微正压的状态，此时箱内原有的空气开始置换出去。如果氮气进气压力过大的话，箱内正压就会增大，此时空气被置换的同时，氮气也会被置换出去，这样就会造成氮气消耗的浪费，所以不推荐氮气柜进气压力过大。