氮气柜在半导体行业中的应用非常广泛,主要体现在以下几个方面:
提供惰性气氛:
防止氧化:半导体芯片的制造需要在特定的环境中进行,氮气可以提供一个干燥、无尘、无氧的环境,以防止芯片在制造过程中受到氧化。例如,在晶圆存储柜中,通过氮气填充装置将晶圆传送盒内的氧气和水汽排出,同时使晶圆传送盒内充满干燥的氮气,避免在晶圆表面生成氧化物,提高了晶圆的良品率。
保护石墨舟:石墨舟在空气中容易与氧气发生反应,尤其是在高温处理后,表面可能更为敏感。石墨舟氮气柜通过充入氮气来降低柜内氧气浓度,防止石墨舟表面氧化,保持其导电性和热稳定性。
保护存储环境:
防潮防湿:氮气柜可以创造一个干燥的环境,避免湿气对半导体器件的影响,从而保护其不被潮湿环境影响。例如,半导体氮气柜通过将氮气加压充入柜体,创造出一种低氧、低湿度、低污染的环境,从而保护半导体等精密电子元件免受湿度和污染的影响。
防静电:氮气柜的主体材料通常采用防静电喷涂,可以有效防止静电对半导体器件的损害。
提高生产效率和产品质量:
延长使用寿命:在低氧、低湿度、低污染的环境下,半导体的氧化和腐蚀速度会减缓,从而延长其使用寿命。
提高良品率:通过氮气柜提供的稳定环境,可以减少由于湿度和污染导致的故障,提高半导体产品的良品率。
节能降耗:氮气柜采用先进的节能技术,能够有效地降低能源消耗,同时减少对环境的影响。