高温无氧厌氧烤箱在多个高科技和精密制造行业中有着广泛的应用,以下是其主要应用领域:
半导体行业
PI/BCB/BPO胶粘剂的固化:在半导体生产中,PI(聚酰亚胺)、BCB(苯并环丁烯)和BPO(双酚A型环氧树脂)等胶粘剂需要在无氧环境下高温固化。这些材料在高温下容易氧化,因此需要在低氧环境中进行固化,以确保材料的性能和稳定性。
晶片退火:为了消除芯片工艺前一阶段高温产生的内应力缺陷,晶片需要在低氧条件下长时间烘烤。这有助于提高芯片的稳定性和可靠性。
坚膜后烘:显影后的基材需要去除光刻胶中的残留溶剂,为增强光刻胶在硅片表面的附着力,需要在无氧环境中烘烤。
基板烘烤:基材在封装前需要排除内部的水分子,需要进行氮气烘烤处理,以保证更彻底地去除水分和保护基板。
封装固化:封装固化过程中,保护器件不被氧化,尤其是引线封装,如SOP、SOT、QFN框架采用铜基材料,极易氧化,需要在低氧环境下固化。
光电子行业
LCD前工段生产:在LCD生产过程中,玻璃基板等材料需要在无氧环境下进行高温处理,以确保材料的性能和质量。
光刻胶固化:光刻胶在固化过程中需要在无氧环境中进行,以防止氧化影响其性能。
新能源行业
车载玻璃镀膜后退火:车载玻璃在镀膜后需要进行退火处理,以消除内应力和提高玻璃的稳定性。无氧环境可以防止玻璃在高温下氧化。
硅片(晶圆)高温退火:硅片在高温退火过程中需要在无氧环境中进行,以防止氧化影响其电学性能。
电子陶瓷材料
无尘烘干:电子陶瓷材料在生产过程中需要在无尘、无氧环境中进行烘干,以确保材料的纯度和性能。
其他行业
氟橡胶材料厌氧烘烤:氟橡胶材料在高温固化过程中需要在无氧环境中进行,以防止氧化影响其机械性能。
SMT烘烤:电子器件(特别是没有防潮保存的芯片)、过期PCB在进贴片机前需要进行充氮烘烤,以去除水分和防止氧化。
技术特点
高效率:采用热风循环模式,有效提高热效率,节省能源消耗。
精确干燥:配备进口耐高温高效过滤器,能够在超百级的洁净环境下工作,有效控制环境中的颗粒以及产品在烘烤制程挥发的颗粒。
节能环保:采用先进的加热和回收技术,可以在长时间工作中保持高品质且高效的加热效果,进一步降低能耗。
智能操作:配备触控板微计算机辅助设计和自动化的人性化操作界面,使烤箱可以通过微计算机对工艺流程进行控制。
安全可靠:采用先降氧后升温模式,有效防止产品氧化,提高良率。配备进口高精度温控器和传感器,确保数据的精准度。
适用场景
工厂生产:适用于大规模生产环境,确保产品质量和生产效率。
高校研究:适用于科研实验室,进行材料研究和工艺开发。
科研机构:适用于高科技研发机构,进行前沿技术研究和实验验证。
产品型号和技术参数
GMO-60D:
工作室尺寸:W600*H600*D600
功率:10KW
温度范围:+60~+450℃
温度均匀度:±2.5℃ at 200℃;±5℃ at 350℃(空载)
升温速度:常温~400℃,升温速度>6°C/min
温控精度:±1℃
含氧量:≤20PPM
运行噪音:≤65db
搁板形式:活动形式
总结
高温无氧厌氧烤箱在半导体、光电子、新能源、电子陶瓷材料等多个高科技和精密制造行业中有着广泛的应用。其高效率、精确干燥、节能环保、智能操作和安全可靠的特点,使其成为现代工业中不可或缺的设备。