氮气柜,晶圆保护柜 - 苏州三清仪器有限公司官方网站

晶圆氮气保护柜是一种专门用于存储晶圆的设备，其主要功能和特点如下：

主要功能

提供惰性气氛：

防止氧化：氮气是一种惰性气体，化学性质稳定，不易与其他物质发生反应。在氮气柜中，高纯度的氮气能够有效隔绝晶圆与外界空气的接触，减少晶圆表面的氧化。氮气柜内的氮气纯度通常要求达到99.999%以上，以确保晶圆芯片在存储过程中不会受到氧化和污染。

减少化学反应：氮气柜内充满纯净的氮气，减少了氧气和其他有害气体的存在，从而防止晶圆与其他材料发生化学反应，保护晶圆的完整性。

湿度控制：

低湿度环境：氮气柜内的湿度通常能够控制在10%RH以下，甚至更低。低湿度环境能够有效降低晶圆表面的水分含量，防止水分对晶圆的氧化和腐蚀，保持晶圆的稳定性和可靠性。

自动调节：氮气柜应配备精确的湿度传感器和控制系统，能够根据设定的湿度值自动调节氮气流量或湿度调节装置，将柜内湿度控制在合适的范围内（如1%-60%RH）。

保持洁净环境：

无尘环境：氮气柜能够提供一个无尘的环境，防止空气中的微粒和污染物对晶圆造成污染。这对于保证晶圆的纯净度和质量至关重要。

高效过滤：氮气柜通常配备高效过滤器，以确保柜内空气的洁净度达到晶圆存储的要求。

应用领域

半导体制造：

存储晶圆：在半导体制造过程中，晶圆需要在多个工序之间进行存储和转运。氮气柜提供了一个无尘、低湿度、低氧的环境，可以有效防止晶圆在存储过程中受到氧化和污染，确保晶圆的质量和稳定性。

提高生产效率：氮气柜能够提供稳定的存储环境，可以确保生产过程中的质量稳定，从而提高生产效率。

通信行业：

保护高价值器件：通信系统中的半导体器件对环境要求极高，尤其是在高湿度和多尘的环境下。氮气柜可以为这些高价值半导体器件提供最佳的保护，确保通信系统的稳定运行。

航空航天：

极端环境下的保护：航空航天领域的电子产品需要在极端环境下保持高度的可靠性和稳定性。氮气柜能够为这些设备提供最佳的保护，确保其在各种环境下都能正常工作。

汽车电子：

提高可靠性和稳定性：汽车电子设备需要在复杂的环境中运行，氮气柜可以为这些设备提供稳定的存储环境，提高其可靠性和稳定性，延长使用寿命。

氮气柜

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