无尘烤箱在半导体行业的使用规范
设备选择与配置
洁净度等级
根据半导体生产对洁净度的不同要求，选择相应洁净度等级的无尘烤箱。如光刻工艺中的预烘烤、涂胶后的坚膜烘烤等环节，需使用Class 100百级无尘洁净烤箱；而一些对洁净度要求稍低的环节，可选用Class 1000千级无尘烤箱。
温度控制
无尘烤箱应具备高精度的温度控制系统，温度范围通常为室温+10℃至300℃，温度波动度控制在±0.5℃以内。温度均匀性也非常重要，一般要求在200℃时±3℃，300℃时±4℃。
氧含量控制
对于需要无氧化烘烤的工艺，无尘烤箱应配备氮气系统，可将箱内氧含量控制在100PPM以内，甚至更低，如20PPM。
过滤系统
配备HEPA或ULPA过滤系统，确保箱内洁净度达到ISO 5级。过滤器应定期更换，以保持其过滤效率。
操作流程与注意事项
使用前准备
检查无尘烤箱的电源、气源连接是否正常，确保设备处于完好状态。
根据工艺要求设定好温度、时间等参数，并进行预热，使箱内达到所需的温度和洁净度。
确认待烘烤的产品已按照规定进行清洁处理，避免带入污染物。
放置产品
将产品放置在无尘烤箱的不锈钢层架上，层架间距可调节，以满足不同产品的需求。
放置时应轻拿轻放，避免对产品造成损伤。
烘烤过程
启动无尘烤箱，按照设定的工艺曲线进行烘烤。在烘烤过程中，应密切观察设备的运行状态，如有异常情况应及时处理。
对于需要充氮气的工艺，应确保氮气流量稳定，并实时监测箱内氧含量。
取出产品
烘烤完成后，应先关闭加热系统，待箱内温度降至安全温度后再取出产品。
取出产品时应佩戴无尘手套，避免手部污染。
安全与维护
安全措施
无尘烤箱应具备超温保护、过载保护等多种安全措施，以防止设备在异常情况下损坏或发生危险。
操作人员应经过专业培训，熟悉设备的操作规程和安全注意事项。
日常维护
定期对无尘烤箱进行清洁和维护，保持箱体内外的清洁。
检查加热器、风扇等关键部件的运行情况，及时更换损坏的部件。
对温度传感器、氧含量传感器等进行定期校准，确保其测量精度。
环境与人员管理
环境管理
无尘烤箱应放置在符合洁净度要求的无尘室内，避免外部环境对烘烤过程的影响。
无尘室内的温度和湿度应控制在适宜范围内，以保证无尘烤箱的正常运行。
人员管理
操作人员在进入无尘室前，必须穿戴好无尘服、无尘帽、无尘鞋等防护用品。
人员在操作过程中应遵守无尘室的管理规定，避免带入污染物。
