苏州三清仪器有限公司生产的半导体晶圆用不锈钢洁净氮气柜具有以下特点和优势：
产品特点
洁净与防氧化：
采用优质SUS304双镜面不锈钢材质，自身不产尘，洁净等级高。
氮气柜通过充入高纯度氮气，降低内部湿度和氧含量，有效防止晶圆氧化。
内部配备高洁净过滤器，确保氮气的洁净度。
氮气节约功能：
智能供氮控制系统可根据设定的湿度值自动控制氮气的供应，当湿度达到设定值时自动切断氮气，超过设定值时自动开启。
多点供气系统确保氮气分布均匀，避免气体过冲对样品造成破坏。
安全与便捷性：
配备声光报警系统、断电后自动打开氮气供应功能，确保样品在断电时仍能得到保护。
柜体设计包括高强度钢化玻璃观察窗、平面加压把手、防静电万向脚轮等，方便移动和定位。
智能化控制：
支持触摸屏或电子键盘操作，具备氮气浓度、温湿度监测、报警提示等功能。
可选配USB温湿度信息传输系统、RS485通信接口等。
应用场景：
适用于半导体晶圆、芯片、光罩、石墨盘等高精密材料的存储。
适合在千级或百级无尘室中使用，确保晶圆在存储过程中免受氧化和污染。
定制化服务：
可根据客户需求定制不同尺寸和容量的氮气柜，如12寸CASSETTE存放需求。
三清仪器的氮气柜凭借其高洁净度、氮气节约功能和智能化控制系统，成为半导体行业存储晶圆的理想选择。
| 产品容积 | 内径尺寸（MM） | 外形尺寸（MM） | 隔板数量 | 开门方式 |
| 98升 | W446*D372*H598 | W448*D400*H688 | 1 | 单开门 |
| 160升 | W446*D422*H848 | W448*D450*H1010 | 3 | 单开门 |
| 240升 | W596*D372*H1148 | W598*D400*H1310 | 3 | 上下双开门 |
| 320升 | W898*D422*H848 | W900*D450*H1010 | 3 | 左右双开门 |
| 435升 | W898*D572*H848 | W900*D600*H1010 | 3 | 左右双开门 |
| 540升 | W596*D682*H1298 | W598*D710*H1465 | 3 | 上下双开门 |
| 718升 | W596*D682*H1723 | W598*D710*H1910 | 5 | 上中下三开门 |
| 870升 | W898*D572*H1698 | W900*D600*H1890 | 5 | 四开门 |
| 1436升 | W1198*D682*H1723 | W1200*D710*H1910 | 5 | 四开门 / 六开门 |
| 湿度范围 | 1% - 60% RH 可调节 | 显示精度 | 温度：±1℃ 湿度：±3%RH | |
| 进气压力 | 0.2 - 0.4 MPa | 节氮模组 | 多点供气系统，SMC节氮模组 | |
