无氧烤箱GM-60D和洁净烤箱MOL-2DS的主要区别如下:
功能与应用场景
无氧烤箱GM-60D:
主要用于需要在无氧环境中进行的工艺,如IC封装、晶体管、传感器、石英晶体振荡器等,防止材料在高温下氧化。
含氧量极低,≤20PPM,适用于对氧化敏感的材料。
洁净烤箱MOL-2DS:
主要用于需要高洁净度的工艺,如晶圆、电子元器件的固化、封装后烘烤等。
内部洁净等级可达Class 100,适用于对微尘敏感的工艺。
温度范围与控制精度
无氧烤箱GM-60D:
温度范围为60℃~550℃。
温度均匀度为±2.5℃@200℃,±5℃@350℃。
洁净烤箱MOL-2DS:
温度范围为常温~250℃。
温度均匀度为±1.5%℃,最佳可达±1℃。
结构与设计
无氧烤箱GM-60D:
单门立式结构,控制柜位于箱体上方。
内胆采用SUS304镜面不锈钢,外壳为SUS304拉丝不锈钢。
洁净烤箱MOL-2DS:
双门双控设计,控制箱位于机台右方。
内胆采用SUS304镜面不锈钢,外箱为SS41冷轧钢板。
气体控制
无氧烤箱GM-60D:
使用惰性气体(如氮气)填充,确保无氧环境。
洁净烤箱MOL-2DS:
可接氮气或洁净干燥气体,但主要功能是保持洁净。
洁净等级
无氧烤箱GM-60D:
洁净等级未明确提及,但通常适用于无氧环境。
洁净烤箱MOL-2DS:
内部洁净等级可达Class 100,适合高洁净度需求。
其他特点
无氧烤箱GM-60D:
升温速度快,常温到400℃的升温速度>6℃/min。
运行噪音≤65dB。
洁净烤箱MOL-2DS:
升温到200℃约需40分钟。
采用HEPA高效过滤器,过滤效率99.99%。
总结
如果工艺需要在无氧环境中进行,且温度要求较高(如超过250℃),则选择无氧烤箱GM-60D。
如果工艺对洁净度要求极高(如Class 100),且温度需求在250℃以下,则选择洁净烤箱MOL-2DS。